上述优点使科里奥利流量控制器也成为其他半导体制造工艺的有吸引力的选择。例如，原子层沉积(ALD)同样有需要精que控制液体前驱物的过程。
半导体制造的另一个关键过程是在将圆柱形晶锭采用机械刀片进行切割，切成一片一片的圆盘状，便成了晶圆。切割后需对其进行清洗，一种新的晶圆清洗方法是使用超临界CO2，它具有特殊的特性，可以有效清洁深沟槽和去除残留物。超临界CO2既不是液体也不是气体，而科里奥利流量计非常适合这一工艺流程。
Alicat CODA系列科里奥利仪表抗干扰性强，对周边的振动和干扰不敏感，这点更是为半导体先进过程控制的高要求提供了有力保障。
有趣的事实: CVD作为一种非常有效的材料表而改性方法，在很多领域得到应用，它提高了材料的使用寿命，节省了大量的材料，为社会带来了显著的经济效益。CVD涂层不仅用于半导体行业，例如，它也被用于制造薯片包装袋，将铝沉积在聚丙烯层上。巧合的是，Alicat科里奥利流量仪表对薯片的生产并不陌生，因为它也被用于调味工艺生产过程中。
Alicat艾里卡特CODA科里奥利系列有多种型号可供选择，并且可提供定制服务，请即刻与我们联系推荐适合您的CVD、ALD、超临界CO2或其他工艺的流量计量和控制解决方案！
