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Conductor系列集成真空压力控制器 | 产品介绍
点击次数:109 发布时间:2021-01-05

 

引言: 前面发过有关真空压力控制器应用的文章,收到不少小伙伴后台留言咨询,此篇文章我们将带领大家了解更多它的相关参数。

 

艾里卡特Conductor系列真空压力控制器旨在快速控制抽真空过程的压力,支持内置真空传感器或外接真空计,具有较宽的真空压力测量/控制范围(0.01 Torr至1000Torr)。

Conductor系列控制器集成了多种电容膜片真空计(CDG)用于测量系统的压力。通过调节被抽出真空系统的气流量与进入系统的气流量达到平衡,从而调节系统真空度。

上游控制的计算示例:

真空泵的抽速:每秒2升 

维持腔体压力:10 TorrA

所需流量:实际压力÷标况压力×抽速= 10 TorrA÷14.696 PSIA×2 l / s = 0.013×2 l / s = 1.6 SLPM

 

使用艾里卡特真空控制器在单独气体供应装置的上游进行压力控制时,您无需扩大流量,只需使用较小的控制阀,即可提高控制性能并减少泄漏。

 

即使面对快速变化的过程工况(例如流量或温度的波动),艾里卡特Conductor系列真空压力控制器也能迅速控制并保持压力稳定在设定值。

 

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快速响应

快速响应的阀门和特殊的PID控制算法构成了1毫秒的控制回路。

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控制J准

j度可溯源至NIST

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通讯连接

通过以下方式轻松与您的工业网络协议集成:

  · Alicat独特的多点RS-232串口通讯

  · RS-485串口

  · Modbus RTU(基于RS-232或RS-485)

  · Modbus TCP/IP

  · DeviceNet

  · EtherCAT

  · EtherNet/IP

  · Profibus

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背压控

后置阀选项可以让您的Conductor控制器控制过程腔体和真空泵之间的流量。将控制器安装在过程腔体和真空泵之间,用于限制真空泵的抽气流量,从而控制腔体的压力上升或下降或维持稳定。如果你无法在系统上游安装压力控制器,但又想j确控制系统压力,就可以使用后置阀门的背压控制器。

 

概况

压力量程

绝压量程(以高真空为基准)

10、100和1000 TorrA单传感器模块

1000&10 TorrA双传感器模块

 

性能

量程比 ≅ 1000:1

- 常规j度校准,可溯源NIST:+/- 0.5%满量程(零点漂移可通过真空去皮调整)

典型控制响应时间:≥50ms(可调)

传感器响应时间:2毫秒

- 显示响应时间:<10毫秒

- 传感器预热时间:完全的预热时间-2小时

  · 适用于大部分用途的-15分钟

 

运行条件

- 气体兼容性:与多种气体兼容,包括大部分具有腐蚀性的气体

  · 关于腐蚀性气体可参阅Alicat气体清单,查看接液材料的兼容性。此真空压力控制器不适用于液态水

- 接液材料:302、303、304和430FR不锈钢、黄铜、FKM和FFKM、氧化铝、可选316L不锈钢主体

- 工作温度:+10至+ 50°C

- 传感器损坏压力:6 kTorrG(116 PSIG)

 

工艺连接件

Compression

- SAE

伟洛克®(包括管,VCO®和VCR®)

 

电气接头

- 6针锁紧型工业接头

标准8针mini-DIN接头

8针螺纹型M12接头

- 9针引脚

15针引脚

 

如果我们内置的CDG真空传感器无法满足你的量程或性能的需求,或您想使用自己的真空传感器,请与Alicat 中国代表处联系以获得协助,以确保您的控制器能够快速稳定的运行。

 

Conductor

用于真空控制的快速响应绝压控制器

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