一．        原理介绍

Alicat质量流量计是基于层流压差原理的一种气体质量流量计。当气体通过流量计内部的层流元件时形成规则的层流运动状态，使用差压传感器测量层流元件上两个位置的气体压力差，结合气体粘度数据和泊肃叶方程可计算出当前工况下气体的体积流量。再通过气体状态方程将该工况的体积流量补偿为标准状态下的标况体积流量。由于成分固定的气体在标况下密度是确定的，标况体积流量X密度=质量流量，因此也可将标况体积流量称为质量流量。Alicat流量计实际测量的是以SCCM和SLPM为单位的标况体积流量。通常标况设定为25℃&1atm，或0℃&1atm。

二．        主要特点

Alicat质量流量计具有以下特点：

1.      响应快：特殊的结构和工作原理，灵敏的传感器，使流量测量响应时间更快，快可达到5ms响应，每秒采集信号1000次。

2.      无需预热：上电即可使用，无需提前预热，节省了等待时间。

3.      多参数测量：内置温度、压力传感器，可同时测量并显示气体压力、温度、质量流量、体积流量等多种参数，如果选配了累计流量功能，还可以测量一段时间内流过的气体总量。

4.      背光液晶屏：具有单色或彩色液晶屏，带屏幕背光灯，可以更直观的查看实时数据，方便读数和调试。

5.      支持上百种气体：内置100多种气体的校准数据，切换气体模式后即可测量不同气体，无需换算或重新校准。

6.      通讯和操作模式：有多种数字通讯和模拟信号模式可供选择，以便采集和记录数据，也有面板按键可手动操作调试。

7.      精度：普通精度为±（0.8%读数+0.2%量程）；高精度为±（0.4%读数+0.2%量程）。

8.      量程：量程范围宽，可定制。常规流量计小量程为0~0.5SCCM，大量程为0~5000SLPM。量程比200:1。

三．        型号系列

Alicat质量流量计产品有多种不同系列，以满足不同客户、工况和应用的需求。

表1. Alicat质量流量计型号类别

表2. Alicat流量计压损数据

M系列：标准型流量计。适用于非腐蚀性气体常规应用，如流量测量，泄漏测试，流量比对校验。

MS系列：耐腐蚀型流量计。适用于腐蚀性气体流量测试。

MQ系列：耐高压流量计。精度±2%F.S，高耐压300PSIG，适用于高压气体应用。

MW系列：低压损流量计。高耐压45PSIG，压损低，对气体的压降/阻力较小，适用于要求压损特别低的应用，例如真空下流量测量，低压力下流量测量，泄漏测试，流量比对校验。不能用于压力较高的应用，高压会导致传感器损坏。建议在不超过2 bar(G)的压力下使用。

MB系列：便携式流量计。内置可充电锂电池，无需外接电源，适用于移动情况下无外部供电的应用，例如用于流量对比校准，环境监测站大气分析仪流量校准。

MWB系列：便携式低压损流量计。内置可充电锂电池，高耐压45PSIG，压损与MW系列一致，对气体的压降/阻力较小，适用于移动低压应用，例如流量校准、环境监测仪器流量校准。

MBS系列：便携式耐腐蚀流量计。适用于腐蚀性气体和移动应用。

FP-25：大气流量校准仪。具有内置温度、湿度传感器和外部温度传感器，可进行大气湿度和温度补偿，用于环境监测站空气流量校准。

四．        选型参数

各种型号的流量计可能会让你眼花缭乱，如果您自己难以判断哪种型号合适，也可以联系Alicat的工程师，我们需要知道以下工况参数来选择适合您的流量计型号。

1.      应用描述：具体用于什么应用？泄漏测试一般使用M、MW系列；移动应用、流量校准、环境监测使用MB、MWB系列。

2.      介质

1）  成分：测量气体的具体成分是什么，是否具有腐蚀性或水蒸汽？如果是请使用MS耐腐蚀型号。

2）  压力：气源压力大小，流量计前端、后端压力大小，是否真空应用？对压损是否有要求？如果气源压力小于1bar(G)，或用于低真空，或对压损有严格要求，无腐蚀性气体，建议使用MW低压损型。如果气源压力大于1MPa(G)，建议使用MQ。

3）  温度：气体温度和环境温度？如果气体或环境温度大于60℃，需要使用耐高温特殊配置。

3.      流量计参数配置

1）  量程：流量范围，小、大流量？需提供换算到质量流量的流量范围以确定量程。

2）  流量单位选择？SCCM,SLPM, Sm3/h, g/s 等。

3）  STP/NTP：标况温度和压力配置？

4）  精度：要求多高？常规精度和高精度可选。

5）  累计流量：是否需要测量累计流量？如是则增加累计流量功能。

6）  通讯：需要配置什么数字通讯和模拟信号？标配RS-232和0-5V模拟量，也可选择其他。

7）  双向流量：是否需要测量正反两个方向的流量？如是则增加双向标定。

4.      流量计硬件配置

1）  屏幕：是否需要配置显示屏？是否需要屏幕与测量单元分离？

2）  供电：是否需要移动使用，内置锂电池？

3）  管路接口：需要什么螺纹接口？默认NPT内螺纹。

4）  数据线接口：需要什么数据线接口？默认8针圆头DIN。

5）  IP等级：防水防尘等级有无要求？

6）  防爆等级有无要求？

7）  泄漏率：要求泄漏率不高于多少？

希望Alicat能够为您提供合适的流量计，如果有问题欢迎联系上海境宣实业有限公司，我们诚挚的希望能够帮到您！